Tóm tắt:

Phương pháp đo biên dạng bề mặt (surface profile) và đo cắt lớp độ dày vật liệu (tomograms) dựa trên giao thoa ánh sáng phổ rộng được phát triển trong nghiên cứu này. Bộ cộng hưởng Fabry-Perot được sử dụng để tạo ra một nguồn sáng phát tần số xung lược nhằm mở rộng khoảng đo theo chiều sâu. Cách tử nhiễu xạ (diffraction grating) được đặt bên trong bộ giao thoa ánh sáng, cho phép thực hiện các phép đo biên dạng bề mặt và đo cắt lớp độ dày vật liệu trong không gian 2 chiều chỉ với một khung ảnh trên camera CCD. Các vân giao thoa với các bậc vân riêng biệt tương ứng với bậc của tần số xung lược được ghi lại bởi một CCD camera trong thời gian thực. Thông tin biên dạng và độ dày các lớp của mẫu vật là các lớp (tấm thủy tinh nhiều lớp) có thể được tính toán từ vị trí của vân giao thoa trên CCD camera và bậc tương ứng của các vân. Trong hệ đo này, độ phân giải của phép đo cắt lớp độ dày và đo biên dạng lần lượt đạt được là 8 µm và 0,7 µm; phạm vi đo của hệ có thể đạt được là 30 mm.