CSDL sách
001
000003780
003
LDTU
020
$c52.000 VNĐ
041
$avie
082
$a621.3815
100
$aNguyễn, Đức Chiến $echủ biên
245
$aCông nghệ chế tạo mạch vi điện tử $cNguyễn Đức Chiến, Nguyễn Văn Hiếu
260
$aHà Nội $bBách khoa - Hà Nội $c2007
300
$a340 tr. $c24 cm
520
$aGồm 13 chương: 1. Nhập môn công nghệ chế tạo mạch vị điện tử; 2. Vật liệu bán dẫn; 3. Khuếch tán; Oxy hoá nhiệt; 4. Cấy ion; 5. Xử lý nhiệt nhanh; 6. Xử lý nhiệt nhanh; 7. Khắc và ăn mòn; 8. Các phương pháp vật lý tạo màng mỏng: bay hơi phun xạ; 9. Kết tủa hoá học pha hơi (CVD); 10. Epitaxy; 11. Công nghệ CMOS; .....
650
$aMạch điện tử
653
$aCông nghệ chế tạo
700
$aNguyễn, Văn Hiếu $e tác giả
852
$a7/25 Quang Trung $bTiếng việt
911
Trần Thị Hậu
927
Mua
928
11222
Sách Chuyên ngành