1 Thiết kế và phân tích cơ cấu mềm thay đổi chuyển động tịnh tiến thành chuyển động xoay dựa trên vi cơ cấu truyền động tĩnh điện răng lược / Ngô Tiến Hoàng // .- 2023 .- Số 61 - Tháng 01 .- Tr. 3-15. .- 621.8

Trong nghiên cứu này, vật liệu tổng hợp (compositematerials) bao gồm một lớp kim loại và lớp Silicon dioxide 〖SiO〗_2 phủ trên và dưới bề mặt lớp kim loại được sử dụng để chế tạo cơ cấu mềm này. Với sự đột phá trong MEMS, cơ cấu mềm này có thể được sử dụng trong một số các ứng dụng vi quang học như bộ chuyển mạch quang học, đo đạc các nhiễu xạ, bộ giảm cường độ quang học, v.v… Phân tích phần tử hữu hạn (FEA) được thực hiện để dự đoán các hành vi của cơ cấu. Tỷ số truyền biến đổi chuyển động đạt được xấp xỉ khoảng 1.2 độ/μm. Để đáp ứng cho việc gia công chế tạo, cơ cấu mềm tích hợp mạch điện điều khiển sẽ được thiết kế trên phần mềm Cadence Virtuoso.Dựa vào các kết quả mô phỏng cho thấy sự dịch chuyển theo phương z (out-of-plane) tại vi trí đĩa xoay là rất nhỏ, điều này chứng tỏ cơ cấu không bị xoắn, võng khi điện áp được đặt vào. Ngoài ra, ứng suất sinh ra trong cơ cấu mềm nhỏ hơn rất nhiều so với ứng suất cho phép của vật liệu. Một hệ thống thí nghiệm được trình bày để xác định khả năng làm việc của cơ cấu.