Tóm tắt:

Màng mỏng ZnO pha tạp Ag được chế tạo bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron. Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp và công suất phún xạ lên cấu trúc, tính chất quang và tính chất điện được nghiên cứu chi tiết bằng các phép đo nhiễu xạ tia X, phép đo truyền qua, hấp thụ và phép đo hiệu ứng Hall.